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Entwicklung von Al(1-x)Sc(x)N-basierten BAW-Komponenten für breitbandige Mobilfunkfilter

dc.contributor.authorBogner, Andreas
dc.date.accessioned2025-08-28T07:58:54Z
dc.date.available2025-08-28T07:58:54Z
dc.date.issued2020
dc.identifierONIX_20250828T094736_9783961473663_16
dc.identifier.urihttps://library.oapen.org/handle/20.500.12657/105772
dc.languageGerman
dc.relation.ispartofseriesFAU Forschungen : Reihe B
dc.subject.classificationthema EDItEUR::T Technology, Engineering, Agriculture, Industrial processes::TB Technology: general issues::TBN Nanotechnology
dc.subject.classificationthema EDItEUR::T Technology, Engineering, Agriculture, Industrial processes::TG Mechanical engineering and materials::TGP Production and industrial engineering
dc.subject.classificationthema EDItEUR::T Technology, Engineering, Agriculture, Industrial processes::TJ Electronics and communications engineering::TJF Electronics engineering
dc.subject.classificationthema EDItEUR::T Technology, Engineering, Agriculture, Industrial processes::TJ Electronics and communications engineering::TJK Communications engineering / telecommunications
dc.subject.classificationthema EDItEUR::T Technology, Engineering, Agriculture, Industrial processes::TJ Electronics and communications engineering::TJS Sensors
dc.subject.otherBAW-Bauelement
dc.subject.otherFilterschaltung
dc.subject.otherMEMS
dc.subject.otherAkustischer Resonator
dc.subject.otherAkustischer Filter
dc.subject.otherHochfrequenzfilter
dc.subject.otherPiezoelektrizität
dc.titleEntwicklung von Al(1-x)Sc(x)N-basierten BAW-Komponenten für breitbandige Mobilfunkfilter
dc.typebook
oapen.abstract.otherlanguageBAW-Resonatoren erfüllen die kritischen Anforderungen, die für die mobile Kommunikation nötig sind und bieten hochselektive Filteranwendungen. Dennoch stellen Frequenzbänder mit großer Bandbreite eine Herausforderung für die moderne BAW-Technologie dar. In dieser Arbeit wurden BAW-Resonatoren des Spiegel-Typs aus AlScN mit hohen Sc-Konzentrationen von bis zu 35 At.-% und fortgeschrittene BAW-Konzepte untersucht, um den geforderten Bandbreiten aktueller und zukünftiger Mobilfunkstandards gerecht zu werden. Es war möglich, einen optimierten Prozessablauf mit hoher Güte und hoch-piezoelektrischen AlScN-Schichten zu entwickeln. Darüber hinaus wurde die optimierte Dünnschicht in BAW-Resonatoren integriert und hinsichtlich verbesserter Bandbreite und hoher Güte durch geeignete Design-Methoden maximiert. Die optimierten AlScN-basierten Resonatoren wurden schließlich eingesetzt, um die Leistung von rein akustischen BAW-Filtern für kritische Frequenzen bis 5 GHz zu demonstrieren. Die Verbesserung des Materials und die Erarbeitung eines Materialdatensatzes bot zudem neue Möglichkeiten zur Untersuchung fortgeschrittener Filterkonzepte wie akustisch gekoppelte Resonatoren, ein konfigurierbarer Filter-Ansatz und die Anwendung neuartiger LC-Hybrid-Filtertopologie. Die entwickelten Resonatoren und Methoden forcieren schließlich die Anwendung von hoch koppelndem AlScN für verbesserte und fortschrittliche BAW-Technologien, die den zunehmenden Anforderungen an breitbandige Filtertechnologien gewachsen sind.
oapen.identifier.doi10.25593/978-3-96147-366-3
oapen.relation.isPublishedBy54ed6011-10c9-4a00-b733-ea92cea25e2d
oapen.relation.isbn9783961473663
oapen.relation.isbn9783961473656
oapen.collectionAG Universitätsverlage
oapen.series.number35
oapen.pages226
oapen.place.publicationErlangen


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9783961473663
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